磁悬浮真空泵

  • 产品详情
  • 产品参数
流量Q
50~1200m³/min
电机单机功率
75~1000kW
优势
高效率、低噪音、无需润滑油、无需循环水
压力范围
真空度10~70kPa
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解决方案
自由容器
磁悬浮真空泵是一款创新型真空获得设备。运用磁悬浮技术,使转子在无机械接触的状态下高速运转,有效降低摩擦与能耗,减少部件磨损,延长使用寿命。运行时噪音低、振动小,能稳定达到高真空度。相比传统真空泵,节能显著。广泛应用于半导体制造、科研实验、光学镀膜等对真空环境要求严苛的领域。
产品参数
型号真空度(kPa)气量范围(m³/min)功率(kW)
CX7510~7090~5075
CX100120~65100
CX200250~130200
CX300360~185300
CX400460~240400
CX600730~380600
CX10001200~6001000